一.背景
硅片清洗劑主要用在單多晶線切割后的硅片表面清洗處理,能有效地清除硅片表面的污染物,使硅片表面潔凈如一,特別適用于太陽能硅片清洗,有利于硅片制絨,提高電池片的轉化效率;市面常見硅片清洗劑主要有三種,分別是單組份清洗劑,雙組份清洗劑,多組分清洗劑;硅片清洗劑大多數呈堿性液體,主要成分是苛性堿、磷酸鹽、硅酸鹽、碳酸鹽、鰲合劑和表面活性劑;雙組份硅片清洗劑的A劑主要有鉀鹽、緩蝕劑、絡合劑、助洗劑組成,B劑主要由表面活性劑聚合復配而成。
硅片清洗劑利用化學剝離的原理有效將鍵入在硅片表面的顆粒、有機物、金屬離子等污染物去除。清洗劑中的活性物質可以吸附在硅片表面,使其長期處于易清洗的物理吸附狀態(>120h),而不像難清洗的化學吸附狀態轉化,并在表面形成保護層,防止顆粒的二次吸附,實現了把有害吸附轉化為無害吸附。能有效提高外延或擴散工序的成品率。
二.硅片清洗劑
2.1特點
1.對動物油、植物油、礦物油污、懸浮液、碾磨膏的乳化、皂化、洗凈性都有很好的表現,對金屬離子有很強的剝離、絡合、洗凈效果;
2.對金屬離子有很強的剝離、絡合、洗凈效果,經檢測對油污的洗凈率為99%,對銅、鐵等金屬離子的剝離、絡合、洗凈效果達到98%以上;
3.低泡產品,適合在超聲波上使用,不會有泡沫溢出;
4.除鉀、鈉離子以外的金屬離子含量不高于50PPm,清洗后的硅片表面無殘留,硅片制絨及光電性能好;
5.該清洗劑濃縮度高,可稀釋20-50倍,而且該產品粘度低、高效、環保無磷、無毒;
6.對被清洗的硅片及清洗設備不會產生腐蝕;
2.2技術指標:
2.3適用范圍:
適用于多晶硅、硅片及相關的硅片及延伸產品浸漬、噴淋清洗處理。超聲波效果更佳。
2.4硅片配方技術
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